選用適當的清洗劑對超聲波清洗效果影響較大。超聲清洗的作用機制主要是空化作用，除物質的主要成分、油垢或機體自身的機械雜質外，選擇的清洗液必須考慮到清洗液的粘度和表面張力，才能起到空化作用。超聲清洗對清洗質量的要求很高，經常使用幾種不同的清洗液在不同的槽中或依次進行，每一種清洗液的作用都不一樣。舉例來說，三氯乙烯、氫氧化鈉水溶液、合成洗滌劑、水、酒精先后用來清洗光學元件，丙酮及1*混合清洗液，用來清洗半導體設備，用2*的清洗液和去離子水，經過多次清洗，零件表面達到預期效果。

最常見的方式就是將超聲波清洗浸入槽內，在含有清洗液的超聲波清洗槽內，由超聲波換能器產生的超聲波振動由清洗槽底部輻射到清洗液中。尤其適用于中小型零件。對大小、重量較大的零件，可采用局部清洗的方法，即將零件浸入清洗液中清洗，未清洗部分浸在清洗液中，直至完全清洗。另外一種方法是根據大尺寸零件形狀及局部清洗的需要，設計特殊形狀的超聲換能器，實現局部清洗。對具有嚴格清洗要求的零件，在不同的槽內采用多種不同的清洗液進行超聲波清洗。另外，還可以使用其他的清洗方法，例如加熱浸洗，超聲波清洗等。對含有特厚油脂的零件，一般先用熱浸洗或高溫噴洗，再用超聲波清洗。對某些零件形狀過于復雜，如孔、孔角不一致等，可采用一次多次清洗，即在不同超聲頻率下清洗。

清洗液的超聲振動頻率對超聲清洗效果有很大的影響，這是因為它對空化的影響很大。通常用在20kHz左右。約20kHz時容易產生氣穴，清洗效果明顯。但是對表面要求高、孔徑或縫隙小的產品，宜使用短波、能量集中的高頻超聲波清洗，有時頻率可達800KHz。但高頻超聲振動在清洗液中衰減大，作用距離短，空化強度小，清洗效率低。另外，由于高頻指向性引起的“陰影”區域，部分部件不能清潔。采用無頻率跟蹤超聲清洗裝置時，需要對發生器頻率進行調節，使其輸出信號的頻率與傳感器的固有振動頻率一致。這時，空泡效應最強。清潔液中可見大量積聚的白色物質。手指頭像一根針一樣。

高功率密度的超聲清洗是提高超聲清洗效率的有效途徑。然而，功率密度過高會由于氣蝕過強而對工件表面造成侵蝕(即氣蝕腐蝕)，對工件造成損害，尤其是對于有各種涂層的工件或鋁及鋁合金工件。能量密度過大也不會產生飽和效應。對油污嚴重、形狀復雜、深孔盲孔的零件，清洗槽要深、清洗液粘度大、功率密度大。高頻率超聲清洗功率密度也很大。能量密度可在用水或酒精清洗或漂洗時降低。

由于清洗液的空化程度與溫度有關，溫度的升高有利于汽蝕，但蒸氣壓力也相應增大。溫度過高會使氣穴減少。所以必須保持一定的溫度范圍。例如水溶劑清洗液一般在45℃左右，三氯乙烯清洗液約75℃，水約60℃。對揮發性和易燃的清洗液，溫度不宜過高。

超聲清洗的效果和質量取決于超聲清洗的時間。對于清洗質量的要求，時間過短。但是，零件表面氣蝕腐蝕嚴重，從而影響零件的質量，延長使用壽命，不僅降低生產效率。油污染嚴重，形狀復雜的零件，清洗時間要長。不同涂層的鋁及鋁合金零件的清洗時間不宜過長。一般說來，表面光潔度高的零件的油污較少，清洗時間不宜過長。特定的清潔時間要通過實驗確定。

為改善清洗效果，并確保超聲波清洗裝置的正常使用，部件在清洗槽中的位置應引起重視。開始，要避免在超聲振動輻射面直接擠壓零件，使輻射面無法產生預期的振動，導致清洗裝置無法正常工作。對較重的部件尤其重要。部件由專用工具吊在清洗槽內，并盡可能接近表面。第二，關鍵的清洗部位必須對準超聲波源。三是要考慮清潔后污物能夠順利排放。第四，使清洗液在清洗槽內的對流。使用循環連續補充清洗液的方法時，進液速度不宜過快，否則由于補充的清洗液中氣體較多，氣穴就會減弱。

在盲孔清洗時，應先在盲孔內注入清洗液，然后將盲孔對準超聲源。清潔時，要始終將清洗液注入孔內，以達到顯著的效果。

超音波清洗槽應避免撞擊及快速冷卻加熱，以免損壞與傳感器的連接。對某些零件進行超聲清洗時，應進行消磁處理，否則殘余鐵屑不易清除。

超聲清洗質量檢查主要是檢查被清潔零件表面的污垢殘留。